核心设备 — 苏州艾特光电

刻蚀设备集群

29 台套

涵盖深硅刻蚀、金属刻蚀、离子束刻蚀等全品类刻蚀能力

STS 深硅刻蚀

北方微电子 8″ 刻蚀

SPTS 深硅刻蚀

ULVAC ICP/RIE

Lam Research 金属刻蚀

IBE 离子束刻蚀

光刻设备集群

纳米级精度

从电子束光刻到步进式光刻，满足不同精度和产能需求

NIKON G6 / I7 / I10 / I12 Stepper

SUSS MA6 接触式光刻

EVG 系列光刻机

JEOL / Raith EBL 电子束光刻

纳米压印光刻设备

Track 匀胶显影系统

镀膜 / 封装 / 检测设备

全链条覆盖

从薄膜沉积到封装检测，确保产品全流程质量可控

Oxford PECVD

AMAT LPCVD

Optorun 电子束蒸发

磁控溅射 / PEALD

Disco 划片 / 飞秒激光

WestBond 引线键合机

29台套

刻蚀设备集群

4/6/8″

兼容晶圆产线

千级

超净实验室

10年+

团队行业经验

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我们的技术团队随时为您提供详细的设备能力和工艺参数